« Ýðóäèöèÿ » Ðîññèéñêàÿ ýëåêòðîííàÿ áèáëèîòåêà

И�точники излучени� в интегрально-оптиче�ких �хемах

Èñòî÷íèêè èçëó÷åíèÿ â èíòåãðàëüíî-îïòè÷åñêèõ ñõåìàõ.

Ñâåòîäèîäû,èõ ñâîéñòâà è òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ.

Êîíñòðóêöèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ëàçåðíûõ äèîäîâ è ñâåòîäèîäîâ (ÑÄ) , ïðèìåíÿåìûõ â ÂÎÑÏ, âåñüìà ðàçíîîáðàçíû.Êîíñòðóêöèè ÑÄ âûáèðàþò ñ òàêèì ðàñ÷åòîì,÷òîáû óìåíüøèòü ñîáñòâåííîå  ñàìîïîãëîùåíèå èçëó÷åíèÿ,îáåñïå÷èòü ðåæèì ðàáîòû ïðè âûñîêîé ïëîòíîñòè òîêà èíæåêöèè è óâåëè÷èòü ýôôåêòèâíîñòü ââîäà èçëó÷åíèÿ â âîëîêíî.Äëÿ ïîâûøåíèÿ ýôôåêòèâíîñòè ââîäà èñïîëüçóþò ìèêðîëèíçû êàê ôîðìèðóåìûå íåïîñðåäñòâåííî íà ïîâåðõíîñòè ïðèáîðà,òàê è âíåøíèå.

 íàñòîÿùåå âðåìÿ ïîëó÷èëè ðàñïðîñòðàíåíèå äâå îñíîâíûå ìîäèôèêàöèè ÑÄ:ïîâåðõíîñòíûå è òîðöåâûå. ïîâåðõíîñòíûõ ÑÄ èçëó÷åíèå âûâîäèòñÿ â íàïðàâëåíèè,ïåðïåíäèêóëÿðíîì ïëîñêîñòè àêòèâíîãî ñëîÿ,à â òîðöåâûõ èç àêòèâíîãî ñëîÿ- â ïàðàëëåëüíîé åìó ïëîñêîñòè.Ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå êîíñòðóêöèè ÑÄ îáîèõ òèïîâ ïðèâåäåíî íà ðèñóíêå.Äëÿ óëó÷øåíèÿ îòâîäà òåïëà îò àêòèâíîãî ñëîÿ ïðè âûñîêîé ïëîòíîñòè òîêàíàêà÷êè ïðèìåíÿþò òåïëîîòâîäû.

Âûâîä èçëó÷åíèÿ â ÑÄ ïîâåðõíîñòíîãî òèïà íà àðñåíèäå ãàëëèÿ îñóùåñòâëÿþò ÷åðåç êðóãëîå îòâåðñòèå,âûòðàâëåííîå â îáëîæêå. ýòî îòâåðñòèå âñòàâëÿþò îïòè÷åñêîå âîëîêíî è çàêðåïëÿþò åãî ñ ïîìîùüþ ýïîêñèäíîé ñìîëû.Òàêóþ êîíñòðóêöèþ ñâåòîäèîäà íàçûâàþò äèîäîì Áàððàñà.Èçâåñòíû òàêæå êîíñòðóêöèè ïîâåðõíîñòíûõ ÑÄ ñ âûâîäîì èçëó÷åíèÿ íåïîñðåäñòâåííî ÷åðåç ïîäëîæêó.Òàêèå êîíñòðóêöèè ïðèìåíÿþòñÿ â ÑÄ íà ÷åòûðåõêîìïîíåíòíîì ñîåäèíåíèè GaInAsP. ýòîì ñëó÷àå ïîäëîæêà èç InP ÿâëÿåòñÿ ïðîçðà÷íûì îêíîì.

 òîðöåâûõ ÑÄ ñ äâîéíîé ãåòåðîñòðóêòóðîé âûâîä èçëó÷åíèÿ àêòèâíîãî ñëîÿ îñóùåñòâëÿþò ñ òîðöà,êàê è â ëàçåðíûõ äèîäàõ.Áëàãîäàðÿ ïîëíîìó âíóòðåííåìó îòðàæåíèþ îïòè÷åñêîå èçëó÷åíèå ðàñïðîñòðàíÿåòñÿ âäîëü ïåðåõîäà.Ñ ïîìîùüþ ïîëîñêîâîé êîíñòðóêöèè íèæíåãî îìè÷åñêîãî êîíòàêòà,à òàêæå ùåëè íà çàäíåé ÷àñòè àêòèâíîãî ñëîÿ àêòèâíàÿ îáëàñòü îãðàíè÷åíà,÷òî ïîçâîëÿåò èçáåæàòü ëàçåðíîé ãåíåðàöèè.Òàê êàê ãåíåðèðóåìîå èçëó÷åíèå ïðè âûâîäå íàðóæó ïðîõîäèò ÷åðåç àêòèâíûé ñëîé,òî èìååò ìåñòî ñàìîïîãëîùåíèå èçëó÷åíèÿ â ýòîì ñëîå.Äëÿ óìåíüøåíèÿ ñàìîïîãëîùåíèÿ àêòèâíûé ñëîé âûïîëíÿþò î÷åíü òîíêèì (0,03...0,1 ìêì). ðåçóëüòàòå èçëó÷åíèå ðàñïðîñòðàíÿåòñÿ ãëàâíûì îáðàçîì â îãðàíè÷èâàþùåì ñëîå,êîòîðûé áëàãîäàðÿ áîëüøîé øèðèíå  çàïðåùåííîé çîíû èìååò íåáîëüøèå ïîòåðè íà ïîãëîùåíèå.

Èçëó÷åíèå ÑÄ âîçíèêàåò â ðåçóëüòàòå ñïîíòàííîé èçëó÷àòåëüíîé ðåêîìáèíàöèè íîñèòåëåé çàðÿäà è ïîýòîìó ÿâëÿåòñÿ íåêîãåðåíòíûì,à ñëåäîâàòåëüíî îòíîñèòåëüíî øèðîêîïîëîñíûì è ñëàáîíàïðàâëåííûì.

Îñîáî ñëåäóåò âûäåëèòü ñóïåðëþìèíåñöåíòíûå ÑÄ. ýòèõ äèîäàõ ïîìèìî ñïîíòàííîé ðåêîìáèíàöèè ñ èçëó÷åíèåì èñïîëüçóåòñÿ ïðîöåññ èíäóöèðîâàííîé ðåêîìáèíàöèè ñ èçëó÷åíèåì; âûõîäíîå èçëó÷åíèå ÿâëÿåòñÿ óñèëåííûì â àêòèâíîé ñðåäå.Ñóïåðëþìèíåñöåíòíûå ÑÄ ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé òîðöåâûå ÑÄ,ðàáîòàþùèå ïðè òàêèõ âûñîêèõ ïëîòíîñòÿõ òîêà èíæåêöèè,÷òî â ìàòåðèàëå àêòèâíîãî ñëîÿ íà÷èíàåò íàáëþäàòüñÿ èíâåðñíàÿ íàñåëåííîñòü ýíåðãåòè÷åñêèõ óðîâíåé.

Ïðèíöèïèàëüíûì îòëè÷èåì ëàçåðíîãî äèîäà îò ÑÄ ÿâëÿåòñÿ íàëè÷èå â ïåðâîì âñòðîåííîãî îïòè÷åñêîãî ðåçîíàòîðà,÷òî ïîçâîëÿåò ïðè óñëîâèè ïðåâûøåíèÿ òîêîì èíæåêöèè íåêîòîðîãî ïîðîãîâîãî çíà÷åíèÿ ïîëó÷èòü ðåæèì èíäóöèðîâàííîãî èçëó÷åíèÿ,êîòîðîå õàðàêòåðèçóåòñÿ âûñîêîé ñòåïåíüþ êîãåðåíòíîñòè.Íàèáîëåå ÷àñòî â êà÷åñòâå îïòè÷åñêîãî ðåçîíàòîðà èñïîëüçóþò:ïëîñêèé ðåçîíàòîð Ôàáðè-Ïåðî è åãî ìîäèôèêàöèè,âêëþ÷àÿ ñîñòàâíûå è âíåøíèå ðåçîíàòîðû,ðåçîíàòîðû ñ ðàñïðåäåëåííîé îáðàòíîé ñâÿçüþ (ÐÎÑ-ðåçîíàòîð) è ñ ðàñïðåäåëåííûì áðýããîâñêèì îòðàæàòåëåì (ÐÁÎ-ðåçîíàòîð).Ïëîñêèé ðåçîíàòîð îáðàçóåòñÿ îáû÷íî ïàðàëëåëüíî ñêîëîòûì òîðöàì ïîëóïðîâîäíèêà ,à ÐÎÑ- è ÐÁÎ-ðåçîíàòîðû --ïóòåì ïåðèîäè÷åñêîé ïðîñòðàíñòâåííîé ìîäóëÿöèè ïàðàìåòðîâ ñòðóêòóðû,âëèÿþùèõ íà óñëîâèÿ ðàñïðîñòðàíåíèÿ èçëó÷åíèÿ.Ïðè ñîâìåùåíèè ïåðèîäè÷åñêîé ñòðóêòóðû ñ àêòèâíîé îáëàñòüþ ïîëó÷àþò ÐÎÑ-äèîä,à ïðè ðàçìåùåíèè ïåðèîäè÷åñêîé ñòðóêòóðû çà ïðåäåëàìè àêòèâíîé îáëàñòè -- ÐÁÎ-ëàçåðíûé äèîä.

Ïðåèìóùåñòâàìè ÐÎÑ- è ÐÁÎ-ëàçåðíûõ äèîäîâ ïî ñðàâíåíèþ ñ îáû÷íûì ëàçåðíûì äèîäîì ñ ðåçîíàòîðîì Ôàáðè-Ïåðî ÿâëÿþòñÿ:Óìåíüøåíèå çàâèñèìîñòè äëèíû âîëíû èçëó÷åíèÿ îò òîêà èíæåêöèè è òåìïåðàòóðû,âûñîêàÿ ñòàáèëüíîñòü îäíîìîäîâîñòè è îäíî÷àñòîòíîñòè èçëó÷åíèÿ,ïðàêòè÷åñêè 100-ïðîöåíòíàÿ ãëóáèíà ìîäóëÿöèè.Òàê,åñëè â ëàçåðíîì äèîäå ñ ðåçîíàòîðîì Ôàáðè-Ïåðî òåìïåðàòóðíûé êîýôôèöèåíò
 ïîðÿäêà 0,5...1 íì/
°Ñ.Êðîìå òîãî ÐÎÑ- è íà îòêàç.Êðîìå òîãî,äëÿ ÐÁÎ-ñòðóêòóðû ïîçâîëÿþò ðåàëèçîâàòü èíòåãðàëüíî-îïòè÷åñêèå ñõåìû.Îñíîâíûì èõ íåäîñòàòêîì ÿâëÿåòñÿ ñëîæíàÿ òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ.

Ïîëóïðîâîäíèêîâûå èçëó÷àòåëè â îáùåì ñëó÷àå îïðåäåëÿþòñÿ êîìïëåêñîì ïàðàìåòðîâ è õàðàêòåðèñòèê ,âêëþ÷àÿ ãàáàðèòíûå è ïðèñîåäèíèòåëüíûå ðàçìåðû.Îäíàêî ñ òî÷êè çðåíèÿ èõ ïðèìåíåíèÿ â êà÷åñòâå êîìïîíåíòîâ ÂÎÑÏ âàæíîå çíà÷åíèå èìååò îãðàíè÷åííûé íàáîð ïàðàìåòðîâ è õàðàêòåðèñòèê,êîòîðûå ÷àùå âñåãî è ïðèâîäÿòñÿ â ïàñïîðòíûõ äàííûõ êîíêðåòíûõ ïðèáîðîâ.

Íàèáîëåå âàæíûìè äëÿ ïðèìåíåíèÿ â ÂÎÑÏ ïàðàìåòðàìè ÿâëÿþòñÿ:ñðåäíÿÿ ìîùíîñòü èçëó÷åíèÿ,øèðèíà èçëó÷àåìîãî ñïåêòðà,âðåìÿ íàðàñòàíèÿ è ñïàäà èìïóëüñà èçëó÷åíèÿ ïðè èìïóëüñíîì âîçáóæäåíèè òîêà íàêà÷êè,ïàäåíèå íàïðÿæåíèÿ íà äèîäå è íàðàáîòêà ëàçåðíûõ äèîäîâ è òîðöåâûõ ñâåòîäèîäîâ ,îáëàäàþùèõ óçêîé äèàãðàììîé íàïðàâëåííîñòè,ñóùåñòâåííîå çíà÷åíèå èìåþò óãëû ðàñõîäèìîñòè ïî óðîâíþ ïîëîâèííîé ìîùíîñòè.Ýòè óãëû îáû÷íî îïðåäåëÿþò ïî íàïðàâëåíèþ èçëó÷åíèÿ â ïàðàëëåëüíîé è ïåðïåíäèêóëÿðíîé ïåðåõîäó ïëîñêîñòÿõ è îáîçíà÷àþò ñîîòâåòñòâåííî è .Îáà óãëà õàðàêòåðèçóþò ïîëå èçëó÷åíèÿ â äàëüíåé çîíå è îáû÷íî =10...30° è =30...60°.

Ñðåäíÿÿ ìîùíîñòü èçëó÷åíèÿ ïðè ðàáîòå ïðè ðàáîòå èçëó÷àòåëÿ â íåïðåðûâíîì ðåæèìå îïðåäåëÿåò ïîëíóþ ìîùíîñòü,èçëó÷àåìóþ ïîâåðõíîñòüþ àêòèâíîé îáëàñòè ïðèáîðà â íàïðàâëåíèè âûâîäà èçëó÷åíèÿ.

Äëèíó âîëíû èçëó÷åíèÿ


îïðåäåëÿþò êàê çíà÷åíèå,ñîîòâåòñòâóþùåå ìàêñèìóìó ñïåêòðàëüí îãî ðàñïðåäåëåíèÿ ìîùíîñòè,à øèðèíó èçëó÷àåìîãî ñïåêòðà


 - êàê èíòåðâàë äëèí âîëí, â êîòîðîì ñïåêòðàëüíàÿ ïëîòíîñòü ìîùíîñòè ñîñòàâëÿåò ïîëîâèíó ìàêñèìàëüíîé. Îãèáàþùàÿ ñïåêòðàëüíîãî ðàñïðåäåëåíèÿ èçëó÷åíèÿ ñâåòîäèîäà èìååò ïðèìåðíî ôîðìó ãàóññîâñêîé êðèâîé ñ
= 20.....50 íì. Äëÿ ëàçåðíûõ äèîäîâ ñ ðåçîíàòîðîì Ôàáðè - Ïåðî øèðèíà ñïåêòðà çíà÷èòåëüíî óæå ( ïîðÿäêà 1.....4 íì ) è åùå ìåíüøå äëÿ ÐÎÑ - è ÐÁÎ - ëàçåðíûõ äèîäîâ, ó êîòîðûõ â çàâèñèìîñòè îò êîíñòðóêöèè îíà ìîæåò ñîñòàâëÿòü 0,1.... 0,3 íì. Ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ñïåêòðà äîñòèãàåòñÿ â ëàçåðíûõ äèîäàõ ñ âíåøíèìè ðåçîíàòîðàìè, ó êîòîðûõ îíà â çàâèñèìîñòè îò òèïà ðåçîíàòîðà ëåæèò â ïðåäåëàõ 1...1500 êÃö.

 Äëÿ âûñîêîñêîðîñòíûõ ÂÎÑÏ âàæíîå çíà÷åíèå èìåþò äèíàìè÷åñêèå ñâîéñòâà ëàçåðíûõ äèîäîâ, êîòîðûå ïðîÿâëÿþòñÿ â çàâèñèìîñòè ñïåêòðàëüíîé õàðàêòåðèñòèêè îò ñêîðîñòè ïåðåäà÷è ïðè íåïîñðåäñòâåííîé ìîäóëÿöèè ìîùíîñòè èçëó÷åíèÿ ïóòåì èçìåíåíèÿ òîêà íàêà÷êè. Ó îäíîìîäîâîãî ëàçåðíîãî äèîäà ñ ðåçîíàòîðîì Ôàðáè - Ïåðî óâåëè÷åíèå ñêîðîñòè ïåðåäà÷è ñîïðîâîæäàåòñÿ èçìåíåíèåì ìîäîâîãî ñîñòàâà, ÷òî õàðàêòåðèçóåòñÿ äèíàìè÷åñêèì ðàñøèðåíèåì ñïåêòðà äî 10 íì ïðè ìîäóëÿöèè ñ ÷àñòîòîé

 ïîðÿäêà 1....2 Ããö .Äëÿ ÐÎÑ- è ÐÁÎ-ëàçåðíûõ äèîäîâ ïðè ìîäóëÿöèè â äèàïàçîíå 0,25...2 Ããö èìååò ìåñòî ëèøü íåçíà÷èòåëüíûé ñäâèã
(ïîðÿäêà 0,2 íì) ïðè ñîõðàíåíèèè âûñîêîé ñòåïåíè ïîäàâëåíèÿ ïîáî÷íûõ ìîä.Ïîýòîìó ýòè ëàçåðíûå äèîäû ÷àñòî íàçûâàþò äèíàìè÷åñêè îäíîìîäîâûìè.

Áûñòðîäåéñòâèå èñòî÷íèêîâ èçëó÷åíèÿ îöåíèâàåòñÿ âðåìåíåì íàðàñòàíèÿ
 è âðåìåíåì ñïàäà
 ìîùíîñòè èçëó÷åíèÿ ïðè ìîäóëÿöèè èìïóëüñàìè òîêà íàêà÷êè ïðÿìîóãîëüíîé ôîðìû äîñòàòî÷íîé äëèòåëüíîñòè (
).Äëÿ îöåíêè è îáû÷íî èñïîëüçóþò óðîâíè 0,1 è 0,9 îò óñòàíîâèâøåãîñÿ çíà÷åíèÿ ìîùíîñòè.×àñòî áûñòðîäåéñòâèå îïðåäåëÿåòñÿ ìàêñèìàëüíîé ÷àñòîòîé ìîäóëÿöèè.Äëÿ ñâåòîäèîäîâ ýòà ÷àñòîòà ìîæåò äîñòèãàòü 200 Ìãö , à ó ëàçåðíûõ äèîäîâ - çíà÷èòåëüíî áîëüøå (íåñêîëüêî Ããö).Îãðàíè÷åíèå ÷àñòîòû ìîäóëÿöèè ñâåòîäèîäîâ ñâÿçàíî ñî âðåìåíåíì æèçíè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé, à ëàçåðíûõ äèîäîâ - ñ êîððåëÿöèåé ìåæäó êîíöåíòðàöèåé èíæåêòèðóåìûõ íîñèòåëåé è ïîòîêîì ôîòîíîâ ,âîçíèêàþùèõ âñëåäñòâèå èõ ðåêîìáèíàöèè.

Ê ïàðàìåòðàì ,îïðåäåëÿþùèì ñòàòè÷åñêèé ðåæèì ðàáîòû ïîëóïðîâîäíèêîâîãî èçëó÷àòåëüíîãî äèîäà ,îòíîñÿò ïàäåíèå íàïðÿæåíèÿ íà äèîäå è òîê íàêà÷êè ïðè ïðÿìîì ñìåùåíèè.Êðîìå ýòèõ ïàðàìåòðîâ ñòàòè÷åñêèé ðåæèì ðàáîòû õàðàêòåðèçóåòñÿ âàòò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêîé . Íà âàòò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêå ëàçåðíîãî äèîäà ìîæíî âûäåëèòü òî÷êó èçëîìà,êîòîðàÿ îïðåäåëÿåòñÿ ïîðîãîâûì òîêîì íàêà÷êè Iïîð.Ïðè òîêàõ íàêà÷êè âûøå ïîðîãîâîãî ëàçåðíûé äèîä ðàáîòàåò â ðåæèìå èíäóöèðîâàííîãî èçëó÷åíèÿ è ìîùíîñòü åãî î÷åíü áûñòðî ðàñòåò ñ óâåëè÷åíèåì òîêà íàêà÷êè.Åñëè òîê íàêà÷êè ìåíüøå ïîðîãîâîãî,òî ïðèáîð ðàáîòàåò â ðåæèìå ñïîíòàííîãî èçëó÷åíèÿ è èçëó÷àåìàÿ ìîùíîñòü ìàëà.Îäíîâðåìåííî ðåçêî óìåíüøàåòñÿ áûñòðîäåéñòâèå è ñóùåñòâåííî ðàñøèðÿåòñÿ øèðèíà èçëó÷àåìîãî ñïåêòðà.Ïîýòîìó ëàçåðíûå äèîäû â äèíàìè÷åñêîì ðåæèìå ðàáîòû òðåáóþò íà÷àëüíîãî ñìåùåíèÿ ïîñòîÿííûì òîêîì,ïðèìåðíî ðàâíûì ïîðîãîâîìó òîêó.Íàêëîí âåòâè âàòò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè ëàçåðíîãî äèîäà,ðàñïîëîæåííîé ïðàâåå Iïîð ,õàðàêòåðèçóåò äèôôåðåíöèàëüíóþ êâàíòîâóþ ýôôåêòèâíîñòü
 ä=dP/dIí,êîòîðàÿ çàâèñèò îò êîíñòðóêöèè ïðèáîðà è åãî òåìïåðàòóðû.Òèïè÷íûå çíà÷åíèÿ äèôôåðåíöèàëüíîé êâàíòîâîé ýôôåêòèâíîñòè ëàçåðíûõ äèîäîâ ñîñòàâëÿþò 0,1...0,2 ìÂò/ìÀ,à ïîðîãîâûé òîê ëåæèò â ïðåäåëàõ 10...100 ìÀ.

Äëÿ ëàçåðíûõ äèîäîâ õàðàêòåðíà òåìïåðàòóðíàÿ çàâèñèìîñòü ïîðîãîâîãî òîêà è äèôôåðåíöèàëüíîé êâàíòîâîé ýôôåêòèâíîñòè.Ñ ðîñòîì òåìïåðàòóðû ïîðîãîâûé òîê óâåëè÷èâàåòñÿ,

à äèôôåðåíöèàëüíàÿ êâàíòîâàÿ ýôôåêòèâíîñòü óìåíüøàåòñÿ.Èçìåíåíèå òåìïåðàòóðû ïðèâîäèò òàêæå ê èçìåíåíèþ äëèíû âîëíû èçëó÷åíèÿ.Íàèáîëüøåé òåìïåðàòóðíîé íåñòàáèëüíîñòüþ îáëàäàþò ëàçåðíûå äèîäû ñ ðåçîíàòîðîì Ôàáðè-Ïåðî.Ëàçåðíûå äèîäû ñ ÐÎÑ- è ÐÁÎ-ðåçîíàòîðàìè áîëåå òåðìîñòàáèëüíû.Äëÿ óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíûõ âëèÿíèé ïðèìåíÿþò ñïåöèàëüíûå ìåðû, íàïðèìåð èñïîëüçóþò òåïëîîòâîäû ñ ýëåìåíòîì Ïåëòüå.Ïàðàìåòðû è õàðàêòåðèñòèêè ñâåòîäèîäîâ èìåþò äîñòàòî÷íî âûñîêóþ òåìïåðàòóðíóþ ñòàáèëüíîñòü,÷òî äåëàåò èõ áîëåå ïðîñòûìè â ýêñïëóàòàöèè.

Íàäåæíîñòü ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èçëó÷àòåëåé îïðåäåëÿåòñÿ íàðàáîòêîé íà îòêàç èëè èíòåíñèâíîñòüþ îòêàçîâ.Ëàçåðíûå äèîäû, ñîçäàííûå â íà÷àëå 80-õ ãîäîâ,îáëàäàëè ñóùåñòâåííî ìåíüøåé íàäåæíîñòüþ ïî ñðàâíåíèþ ñî ñâåòîäèîäàìè.Îäíàêî â ïîñëåäíåå âðåìÿ áëàãîäàðÿ ñîâåðøåíñòâîâàíèþ êîíñòðóêöèé è òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ åå óäàëîñü çíà÷èòåëüíî ïîâûñèòü è äîâåñòè äî ïðèåìëåìîé âåëè÷èíû.

Ñïèñîê ëèòåðàòóðû

Øàøëî Ì.Â. Èñòî÷íèêè èçëó÷åíèÿ â èíòåãðàëüíî-îïòè÷åñêèõ ñõåìàõ.

Äëÿ ïîäãîòîâêè äàííîé ðàáîòû áûëè èñïîëüçîâàíû ìàòåðèàëû ñ ñàéòà http://www.altai.fio.ru/


Íåïðàâèëüíàÿ êîäèðîâêà â òåêñòå?
 ðàáîòå íå äîñòàåò êàêèõ ëèáî êàðòèíîê?
Äîêóìåíò îòôîðìàòèðîâàí íåêîððåêòíî?

Âû ìîæåòå ñêà÷àòü ïðàâèëüíî îòôîðìàòèðîâàííóþ ðàáîòó
Ñêà÷àòü ðåôåðàò