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Èñòî÷íèêè èçëó÷åíèÿ â èíòåãðàëüíî-îïòè÷åñêèõ ñõåìàõ.
Ñâåòîäèîäû,èõ ñâîéñòâà è òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ.
Êîíñòðóêöèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ëàçåðíûõ äèîäîâ è ñâåòîäèîäîâ (ÑÄ) , ïðèìåíÿåìûõ â ÂÎÑÏ, âåñüìà ðàçíîîáðàçíû.Êîíñòðóêöèè ÑÄ âûáèðàþò ñ òàêèì ðàñ÷åòîì,÷òîáû óìåíüøèòü ñîáñòâåííîå ñàìîïîãëîùåíèå èçëó÷åíèÿ,îáåñïå÷èòü ðåæèì ðàáîòû ïðè âûñîêîé ïëîòíîñòè òîêà èíæåêöèè è óâåëè÷èòü ýôôåêòèâíîñòü ââîäà èçëó÷åíèÿ â âîëîêíî.Äëÿ ïîâûøåíèÿ ýôôåêòèâíîñòè ââîäà èñïîëüçóþò ìèêðîëèíçû êàê ôîðìèðóåìûå íåïîñðåäñòâåííî íà ïîâåðõíîñòè ïðèáîðà,òàê è âíåøíèå.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ ïîëó÷èëè ðàñïðîñòðàíåíèå äâå îñíîâíûå ìîäèôèêàöèè ÑÄ:ïîâåðõíîñòíûå è òîðöåâûå. ïîâåðõíîñòíûõ ÑÄ èçëó÷åíèå âûâîäèòñÿ â íàïðàâëåíèè,ïåðïåíäèêóëÿðíîì ïëîñêîñòè àêòèâíîãî ñëîÿ,à â òîðöåâûõ èç àêòèâíîãî ñëîÿ- â ïàðàëëåëüíîé åìó ïëîñêîñòè.Ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå êîíñòðóêöèè ÑÄ îáîèõ òèïîâ ïðèâåäåíî íà ðèñóíêå.Äëÿ óëó÷øåíèÿ îòâîäà òåïëà îò àêòèâíîãî ñëîÿ ïðè âûñîêîé ïëîòíîñòè òîêàíàêà÷êè ïðèìåíÿþò òåïëîîòâîäû.
Âûâîä èçëó÷åíèÿ â ÑÄ ïîâåðõíîñòíîãî òèïà íà àðñåíèäå ãàëëèÿ îñóùåñòâëÿþò ÷åðåç êðóãëîå îòâåðñòèå,âûòðàâëåííîå â îáëîæêå. ýòî îòâåðñòèå âñòàâëÿþò îïòè÷åñêîå âîëîêíî è çàêðåïëÿþò åãî ñ ïîìîùüþ ýïîêñèäíîé ñìîëû.Òàêóþ êîíñòðóêöèþ ñâåòîäèîäà íàçûâàþò äèîäîì Áàððàñà.Èçâåñòíû òàêæå êîíñòðóêöèè ïîâåðõíîñòíûõ ÑÄ ñ âûâîäîì èçëó÷åíèÿ íåïîñðåäñòâåííî ÷åðåç ïîäëîæêó.Òàêèå êîíñòðóêöèè ïðèìåíÿþòñÿ â ÑÄ íà ÷åòûðåõêîìïîíåíòíîì ñîåäèíåíèè GaInAsP. ýòîì ñëó÷àå ïîäëîæêà èç InP ÿâëÿåòñÿ ïðîçðà÷íûì îêíîì.
 òîðöåâûõ ÑÄ ñ äâîéíîé ãåòåðîñòðóêòóðîé âûâîä èçëó÷åíèÿ àêòèâíîãî ñëîÿ îñóùåñòâëÿþò ñ òîðöà,êàê è â ëàçåðíûõ äèîäàõ.Áëàãîäàðÿ ïîëíîìó âíóòðåííåìó îòðàæåíèþ îïòè÷åñêîå èçëó÷åíèå ðàñïðîñòðàíÿåòñÿ âäîëü ïåðåõîäà.Ñ ïîìîùüþ ïîëîñêîâîé êîíñòðóêöèè íèæíåãî îìè÷åñêîãî êîíòàêòà,à òàêæå ùåëè íà çàäíåé ÷àñòè àêòèâíîãî ñëîÿ àêòèâíàÿ îáëàñòü îãðàíè÷åíà,÷òî ïîçâîëÿåò èçáåæàòü ëàçåðíîé ãåíåðàöèè.Òàê êàê ãåíåðèðóåìîå èçëó÷åíèå ïðè âûâîäå íàðóæó ïðîõîäèò ÷åðåç àêòèâíûé ñëîé,òî èìååò ìåñòî ñàìîïîãëîùåíèå èçëó÷åíèÿ â ýòîì ñëîå.Äëÿ óìåíüøåíèÿ ñàìîïîãëîùåíèÿ àêòèâíûé ñëîé âûïîëíÿþò î÷åíü òîíêèì (0,03...0,1 ìêì). ðåçóëüòàòå èçëó÷åíèå ðàñïðîñòðàíÿåòñÿ ãëàâíûì îáðàçîì â îãðàíè÷èâàþùåì ñëîå,êîòîðûé áëàãîäàðÿ áîëüøîé øèðèíå çàïðåùåííîé çîíû èìååò íåáîëüøèå ïîòåðè íà ïîãëîùåíèå.
Èçëó÷åíèå ÑÄ âîçíèêàåò â ðåçóëüòàòå ñïîíòàííîé èçëó÷àòåëüíîé ðåêîìáèíàöèè íîñèòåëåé çàðÿäà è ïîýòîìó ÿâëÿåòñÿ íåêîãåðåíòíûì,à ñëåäîâàòåëüíî îòíîñèòåëüíî øèðîêîïîëîñíûì è ñëàáîíàïðàâëåííûì.
Îñîáî ñëåäóåò âûäåëèòü ñóïåðëþìèíåñöåíòíûå ÑÄ. ýòèõ äèîäàõ ïîìèìî ñïîíòàííîé ðåêîìáèíàöèè ñ èçëó÷åíèåì èñïîëüçóåòñÿ ïðîöåññ èíäóöèðîâàííîé ðåêîìáèíàöèè ñ èçëó÷åíèåì; âûõîäíîå èçëó÷åíèå ÿâëÿåòñÿ óñèëåííûì â àêòèâíîé ñðåäå.Ñóïåðëþìèíåñöåíòíûå ÑÄ ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé òîðöåâûå ÑÄ,ðàáîòàþùèå ïðè òàêèõ âûñîêèõ ïëîòíîñòÿõ òîêà èíæåêöèè,÷òî â ìàòåðèàëå àêòèâíîãî ñëîÿ íà÷èíàåò íàáëþäàòüñÿ èíâåðñíàÿ íàñåëåííîñòü ýíåðãåòè÷åñêèõ óðîâíåé.
Ïðèíöèïèàëüíûì îòëè÷èåì ëàçåðíîãî äèîäà îò ÑÄ ÿâëÿåòñÿ íàëè÷èå â ïåðâîì âñòðîåííîãî îïòè÷åñêîãî ðåçîíàòîðà,÷òî ïîçâîëÿåò ïðè óñëîâèè ïðåâûøåíèÿ òîêîì èíæåêöèè íåêîòîðîãî ïîðîãîâîãî çíà÷åíèÿ ïîëó÷èòü ðåæèì èíäóöèðîâàííîãî èçëó÷åíèÿ,êîòîðîå õàðàêòåðèçóåòñÿ âûñîêîé ñòåïåíüþ êîãåðåíòíîñòè.Íàèáîëåå ÷àñòî â êà÷åñòâå îïòè÷åñêîãî ðåçîíàòîðà èñïîëüçóþò:ïëîñêèé ðåçîíàòîð Ôàáðè-Ïåðî è åãî ìîäèôèêàöèè,âêëþ÷àÿ ñîñòàâíûå è âíåøíèå ðåçîíàòîðû,ðåçîíàòîðû ñ ðàñïðåäåëåííîé îáðàòíîé ñâÿçüþ (ÐÎÑ-ðåçîíàòîð) è ñ ðàñïðåäåëåííûì áðýããîâñêèì îòðàæàòåëåì (ÐÁÎ-ðåçîíàòîð).Ïëîñêèé ðåçîíàòîð îáðàçóåòñÿ îáû÷íî ïàðàëëåëüíî ñêîëîòûì òîðöàì ïîëóïðîâîäíèêà ,à ÐÎÑ- è ÐÁÎ-ðåçîíàòîðû --ïóòåì ïåðèîäè÷åñêîé ïðîñòðàíñòâåííîé ìîäóëÿöèè ïàðàìåòðîâ ñòðóêòóðû,âëèÿþùèõ íà óñëîâèÿ ðàñïðîñòðàíåíèÿ èçëó÷åíèÿ.Ïðè ñîâìåùåíèè ïåðèîäè÷åñêîé ñòðóêòóðû ñ àêòèâíîé îáëàñòüþ ïîëó÷àþò ÐÎÑ-äèîä,à ïðè ðàçìåùåíèè ïåðèîäè÷åñêîé ñòðóêòóðû çà ïðåäåëàìè àêòèâíîé îáëàñòè -- ÐÁÎ-ëàçåðíûé äèîä.
Ïðåèìóùåñòâàìè
ÐÎÑ- è ÐÁÎ-ëàçåðíûõ äèîäîâ ïî ñðàâíåíèþ ñ îáû÷íûì ëàçåðíûì äèîäîì ñ ðåçîíàòîðîì
Ôàáðè-Ïåðî ÿâëÿþòñÿ:Óìåíüøåíèå çàâèñèìîñòè äëèíû âîëíû èçëó÷åíèÿ îò òîêà èíæåêöèè
è òåìïåðàòóðû,âûñîêàÿ ñòàáèëüíîñòü îäíîìîäîâîñòè è îäíî÷àñòîòíîñòè
èçëó÷åíèÿ,ïðàêòè÷åñêè 100-ïðîöåíòíàÿ ãëóáèíà ìîäóëÿöèè.Òàê,åñëè â ëàçåðíîì
äèîäå ñ ðåçîíàòîðîì Ôàáðè-Ïåðî òåìïåðàòóðíûé êîýôôèöèåíò
ïîðÿäêà 0,5...1 íì/°Ñ.Êðîìå òîãî
ÐÎÑ- è íà îòêàç.Êðîìå òîãî,äëÿ ÐÁÎ-ñòðóêòóðû ïîçâîëÿþò ðåàëèçîâàòü
èíòåãðàëüíî-îïòè÷åñêèå ñõåìû.Îñíîâíûì èõ íåäîñòàòêîì ÿâëÿåòñÿ ñëîæíàÿ
òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ.
Ïîëóïðîâîäíèêîâûå èçëó÷àòåëè â îáùåì ñëó÷àå îïðåäåëÿþòñÿ êîìïëåêñîì ïàðàìåòðîâ è õàðàêòåðèñòèê ,âêëþ÷àÿ ãàáàðèòíûå è ïðèñîåäèíèòåëüíûå ðàçìåðû.Îäíàêî ñ òî÷êè çðåíèÿ èõ ïðèìåíåíèÿ â êà÷åñòâå êîìïîíåíòîâ ÂÎÑÏ âàæíîå çíà÷åíèå èìååò îãðàíè÷åííûé íàáîð ïàðàìåòðîâ è õàðàêòåðèñòèê,êîòîðûå ÷àùå âñåãî è ïðèâîäÿòñÿ â ïàñïîðòíûõ äàííûõ êîíêðåòíûõ ïðèáîðîâ.
Íàèáîëåå âàæíûìè äëÿ ïðèìåíåíèÿ â ÂÎÑÏ ïàðàìåòðàìè ÿâëÿþòñÿ:ñðåäíÿÿ ìîùíîñòü èçëó÷åíèÿ,øèðèíà èçëó÷àåìîãî ñïåêòðà,âðåìÿ íàðàñòàíèÿ è ñïàäà èìïóëüñà èçëó÷åíèÿ ïðè èìïóëüñíîì âîçáóæäåíèè òîêà íàêà÷êè,ïàäåíèå íàïðÿæåíèÿ íà äèîäå è íàðàáîòêà ëàçåðíûõ äèîäîâ è òîðöåâûõ ñâåòîäèîäîâ ,îáëàäàþùèõ óçêîé äèàãðàììîé íàïðàâëåííîñòè,ñóùåñòâåííîå çíà÷åíèå èìåþò óãëû ðàñõîäèìîñòè ïî óðîâíþ ïîëîâèííîé ìîùíîñòè.Ýòè óãëû îáû÷íî îïðåäåëÿþò ïî íàïðàâëåíèþ èçëó÷åíèÿ â ïàðàëëåëüíîé è ïåðïåíäèêóëÿðíîé ïåðåõîäó ïëîñêîñòÿõ è îáîçíà÷àþò ñîîòâåòñòâåííî è .Îáà óãëà õàðàêòåðèçóþò ïîëå èçëó÷åíèÿ â äàëüíåé çîíå è îáû÷íî =10...30° è =30...60°.
Ñðåäíÿÿ ìîùíîñòü èçëó÷åíèÿ ïðè ðàáîòå ïðè ðàáîòå èçëó÷àòåëÿ â íåïðåðûâíîì ðåæèìå îïðåäåëÿåò ïîëíóþ ìîùíîñòü,èçëó÷àåìóþ ïîâåðõíîñòüþ àêòèâíîé îáëàñòè ïðèáîðà â íàïðàâëåíèè âûâîäà èçëó÷åíèÿ.
Äëèíó âîëíû
èçëó÷åíèÿ
îïðåäåëÿþò êàê çíà÷åíèå,ñîîòâåòñòâóþùåå ìàêñèìóìó ñïåêòðàëüí
îãî ðàñïðåäåëåíèÿ ìîùíîñòè,à øèðèíó èçëó÷àåìîãî ñïåêòðà
- êàê èíòåðâàë äëèí
âîëí, â êîòîðîì ñïåêòðàëüíàÿ ïëîòíîñòü ìîùíîñòè ñîñòàâëÿåò ïîëîâèíó
ìàêñèìàëüíîé. Îãèáàþùàÿ ñïåêòðàëüíîãî ðàñïðåäåëåíèÿ èçëó÷åíèÿ ñâåòîäèîäà èìååò
ïðèìåðíî ôîðìó ãàóññîâñêîé êðèâîé ñ
= 20.....50 íì. Äëÿ ëàçåðíûõ äèîäîâ ñ ðåçîíàòîðîì Ôàáðè -
Ïåðî øèðèíà ñïåêòðà çíà÷èòåëüíî óæå ( ïîðÿäêà 1.....4 íì ) è åùå ìåíüøå äëÿ ÐÎÑ
- è ÐÁÎ - ëàçåðíûõ äèîäîâ, ó êîòîðûõ â çàâèñèìîñòè îò êîíñòðóêöèè îíà ìîæåò
ñîñòàâëÿòü 0,1.... 0,3 íì. Ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ñïåêòðà äîñòèãàåòñÿ â ëàçåðíûõ
äèîäàõ ñ âíåøíèìè ðåçîíàòîðàìè, ó êîòîðûõ îíà â çàâèñèìîñòè îò òèïà ðåçîíàòîðà
ëåæèò â ïðåäåëàõ 1...1500 êÃö.
Äëÿ âûñîêîñêîðîñòíûõ ÂÎÑÏ âàæíîå çíà÷åíèå
èìåþò äèíàìè÷åñêèå ñâîéñòâà ëàçåðíûõ äèîäîâ, êîòîðûå ïðîÿâëÿþòñÿ â çàâèñèìîñòè
ñïåêòðàëüíîé õàðàêòåðèñòèêè îò ñêîðîñòè ïåðåäà÷è ïðè íåïîñðåäñòâåííîé ìîäóëÿöèè
ìîùíîñòè èçëó÷åíèÿ ïóòåì èçìåíåíèÿ òîêà íàêà÷êè. Ó îäíîìîäîâîãî ëàçåðíîãî äèîäà
ñ ðåçîíàòîðîì Ôàðáè - Ïåðî óâåëè÷åíèå ñêîðîñòè ïåðåäà÷è ñîïðîâîæäàåòñÿ
èçìåíåíèåì ìîäîâîãî ñîñòàâà, ÷òî õàðàêòåðèçóåòñÿ äèíàìè÷åñêèì ðàñøèðåíèåì
ñïåêòðà äî 10 íì ïðè ìîäóëÿöèè ñ ÷àñòîòîé
ïîðÿäêà 1....2 Ããö
.Äëÿ ÐÎÑ- è ÐÁÎ-ëàçåðíûõ äèîäîâ ïðè ìîäóëÿöèè â äèàïàçîíå 0,25...2 Ããö èìååò
ìåñòî ëèøü íåçíà÷èòåëüíûé ñäâèã
(ïîðÿäêà 0,2 íì) ïðè ñîõðàíåíèèè âûñîêîé ñòåïåíè ïîäàâëåíèÿ
ïîáî÷íûõ ìîä.Ïîýòîìó ýòè ëàçåðíûå äèîäû ÷àñòî íàçûâàþò äèíàìè÷åñêè
îäíîìîäîâûìè.
Áûñòðîäåéñòâèå
èñòî÷íèêîâ èçëó÷åíèÿ îöåíèâàåòñÿ âðåìåíåì íàðàñòàíèÿ
è âðåìåíåì ñïàäà
ìîùíîñòè èçëó÷åíèÿ
ïðè ìîäóëÿöèè èìïóëüñàìè òîêà íàêà÷êè ïðÿìîóãîëüíîé ôîðìû äîñòàòî÷íîé
äëèòåëüíîñòè (
).Äëÿ îöåíêè è îáû÷íî èñïîëüçóþò óðîâíè 0,1 è 0,9 îò
óñòàíîâèâøåãîñÿ çíà÷åíèÿ ìîùíîñòè.×àñòî áûñòðîäåéñòâèå îïðåäåëÿåòñÿ
ìàêñèìàëüíîé ÷àñòîòîé ìîäóëÿöèè.Äëÿ ñâåòîäèîäîâ ýòà ÷àñòîòà ìîæåò äîñòèãàòü 200
Ìãö , à ó ëàçåðíûõ äèîäîâ - çíà÷èòåëüíî áîëüøå (íåñêîëüêî Ããö).Îãðàíè÷åíèå
÷àñòîòû ìîäóëÿöèè ñâåòîäèîäîâ ñâÿçàíî ñî âðåìåíåíì æèçíè íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé,
à ëàçåðíûõ äèîäîâ - ñ êîððåëÿöèåé ìåæäó êîíöåíòðàöèåé èíæåêòèðóåìûõ íîñèòåëåé è
ïîòîêîì ôîòîíîâ ,âîçíèêàþùèõ âñëåäñòâèå èõ ðåêîìáèíàöèè.
Ê ïàðàìåòðàì
,îïðåäåëÿþùèì ñòàòè÷åñêèé ðåæèì ðàáîòû ïîëóïðîâîäíèêîâîãî èçëó÷àòåëüíîãî äèîäà
,îòíîñÿò ïàäåíèå íàïðÿæåíèÿ íà äèîäå è òîê íàêà÷êè ïðè ïðÿìîì ñìåùåíèè.Êðîìå
ýòèõ ïàðàìåòðîâ ñòàòè÷åñêèé ðåæèì ðàáîòû õàðàêòåðèçóåòñÿ âàòò-àìïåðíîé
õàðàêòåðèñòèêîé . Íà âàòò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêå ëàçåðíîãî äèîäà ìîæíî
âûäåëèòü òî÷êó èçëîìà,êîòîðàÿ îïðåäåëÿåòñÿ ïîðîãîâûì òîêîì íàêà÷êè Iïîð.Ïðè
òîêàõ íàêà÷êè âûøå ïîðîãîâîãî ëàçåðíûé äèîä ðàáîòàåò â ðåæèìå èíäóöèðîâàííîãî
èçëó÷åíèÿ è ìîùíîñòü åãî î÷åíü áûñòðî ðàñòåò ñ óâåëè÷åíèåì òîêà íàêà÷êè.Åñëè
òîê íàêà÷êè ìåíüøå ïîðîãîâîãî,òî ïðèáîð ðàáîòàåò â ðåæèìå ñïîíòàííîãî èçëó÷åíèÿ
è èçëó÷àåìàÿ ìîùíîñòü ìàëà.Îäíîâðåìåííî ðåçêî óìåíüøàåòñÿ áûñòðîäåéñòâèå è ñóùåñòâåííî
ðàñøèðÿåòñÿ øèðèíà èçëó÷àåìîãî ñïåêòðà.Ïîýòîìó ëàçåðíûå äèîäû â äèíàìè÷åñêîì
ðåæèìå ðàáîòû òðåáóþò íà÷àëüíîãî ñìåùåíèÿ ïîñòîÿííûì òîêîì,ïðèìåðíî ðàâíûì
ïîðîãîâîìó òîêó.Íàêëîí âåòâè âàòò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè ëàçåðíîãî
äèîäà,ðàñïîëîæåííîé ïðàâåå Iïîð ,õàðàêòåðèçóåò äèôôåðåíöèàëüíóþ êâàíòîâóþ
ýôôåêòèâíîñòü
ä=dP/dIí,êîòîðàÿ
çàâèñèò îò êîíñòðóêöèè ïðèáîðà è åãî òåìïåðàòóðû.Òèïè÷íûå çíà÷åíèÿ
äèôôåðåíöèàëüíîé êâàíòîâîé ýôôåêòèâíîñòè ëàçåðíûõ äèîäîâ ñîñòàâëÿþò 0,1...0,2
ìÂò/ìÀ,à ïîðîãîâûé òîê ëåæèò â ïðåäåëàõ 10...100 ìÀ.
Äëÿ ëàçåðíûõ äèîäîâ õàðàêòåðíà òåìïåðàòóðíàÿ çàâèñèìîñòü ïîðîãîâîãî òîêà è äèôôåðåíöèàëüíîé êâàíòîâîé ýôôåêòèâíîñòè.Ñ ðîñòîì òåìïåðàòóðû ïîðîãîâûé òîê óâåëè÷èâàåòñÿ,
à äèôôåðåíöèàëüíàÿ êâàíòîâàÿ ýôôåêòèâíîñòü óìåíüøàåòñÿ.Èçìåíåíèå òåìïåðàòóðû ïðèâîäèò òàêæå ê èçìåíåíèþ äëèíû âîëíû èçëó÷åíèÿ.Íàèáîëüøåé òåìïåðàòóðíîé íåñòàáèëüíîñòüþ îáëàäàþò ëàçåðíûå äèîäû ñ ðåçîíàòîðîì Ôàáðè-Ïåðî.Ëàçåðíûå äèîäû ñ ÐÎÑ- è ÐÁÎ-ðåçîíàòîðàìè áîëåå òåðìîñòàáèëüíû.Äëÿ óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíûõ âëèÿíèé ïðèìåíÿþò ñïåöèàëüíûå ìåðû, íàïðèìåð èñïîëüçóþò òåïëîîòâîäû ñ ýëåìåíòîì Ïåëòüå.Ïàðàìåòðû è õàðàêòåðèñòèêè ñâåòîäèîäîâ èìåþò äîñòàòî÷íî âûñîêóþ òåìïåðàòóðíóþ ñòàáèëüíîñòü,÷òî äåëàåò èõ áîëåå ïðîñòûìè â ýêñïëóàòàöèè.
Íàäåæíîñòü ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èçëó÷àòåëåé îïðåäåëÿåòñÿ íàðàáîòêîé íà îòêàç èëè èíòåíñèâíîñòüþ îòêàçîâ.Ëàçåðíûå äèîäû, ñîçäàííûå â íà÷àëå 80-õ ãîäîâ,îáëàäàëè ñóùåñòâåííî ìåíüøåé íàäåæíîñòüþ ïî ñðàâíåíèþ ñî ñâåòîäèîäàìè.Îäíàêî â ïîñëåäíåå âðåìÿ áëàãîäàðÿ ñîâåðøåíñòâîâàíèþ êîíñòðóêöèé è òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ åå óäàëîñü çíà÷èòåëüíî ïîâûñèòü è äîâåñòè äî ïðèåìëåìîé âåëè÷èíû.
Ñïèñîê ëèòåðàòóðû
Øàøëî Ì.Â. Èñòî÷íèêè èçëó÷åíèÿ â èíòåãðàëüíî-îïòè÷åñêèõ ñõåìàõ.
Äëÿ ïîäãîòîâêè äàííîé ðàáîòû áûëè èñïîëüçîâàíû ìàòåðèàëû ñ ñàéòà http://www.altai.fio.ru/