Разработка топологии и технологии изготовления ИМС
:
. . -316 ..
:
..
2000
:
:
: 4 : -316 : 8
()
. ():
2. ():
3. ():
;
55 ; 15 ;
100100 ;
70 /.
4. - ( ,
):
;
, ,
.
5. (
): ;
.
6. : ___________________________________
. ()
()
1
2
3
4
5
6
7
8
.
()
.
() (, , )
_______________________2000 .
: 52 ., 23 ., 11 .
.
:
;
;
;
.
:
;
() ;
, ;
.
, , P-N ,
, , , .
.
2
4
7
1 8
1.1 n-p-n 8
10
1.3 14
1.4 15
1.5 16
2 18
3 19
4 39
4.1 40
4.2 42
4.3 44
4.4 45
4.5 46
4.6 48
4.7 50
4.8 50
51
52
- ,
.
.
.
,
- , ,
, ,
( ) ,
- .
, . ,
, : ,
- ,
, -
- ,
, ,
.
,
,
. ,
.
, ,
, , ,
, -
, (
) - - .
() ,
, , -
.
,
,
. ,
( ),
, (),
(),
(), , ,
,
, , .
,
,
, , .
1
1.1 N-P-N
n-p-n
. ,
p-n-p, .
,
n-p-n.
n-p-n -
. ,
n-p-n
.
-- n+- (. 1.1).
,
.
( )
( ).
, . .
.
n+-
.
-.
.
2,510 , ps=10-30 /.
1.1 n+-p-n
,
.
:
, .
,
- n+-
. n+-
n- ,
1018 /3
. n-,
, 10151016 /3.
,
-.
-
.
.
, .
, . .
,
.
.
. ,
.
1.2
( ),
( ) .
()
(. 1.2, 1.3, 1.4).
,
-n-.
, ,
,
s. s ,
( ).
n-p-n,
,
.
. 1.5. ( ) (. 1.5 )
l/b. ,
.
, . 1.5,
, . .
, . 1.5, , ,
( 20 ).
,
. ( 60
) (. 1.5, )
(-, . 1.5, ).
(1-5 ),
, (2,5-3 ),
(
-n-).
, s,
4s
, - ,
.
1.2 -
1.3 -
60 , , , (
15% ).
15-20% .
,
, ,
.
,
R [(1,5-3)10-4 1/].
.
1.4 -
1 5 -
[3100 R= (1-2)10-4 1/], s
.
1.3
0,8 .
, (. 1.6).
,
, ""
n+-. (3-5
),
( ),
.
,
.
1.6 -
(),
.
( );
.
( ,
).
. 1.7
1.7 - () ()
1.4
,
.
,
(. 1.9).
(. 1.10, -).
1.8 -
1.9 - :
- (
), - -
1.5
,
.
: ,
; , ,
, ()
, ,
, .
p-n-
1.10 -
-n-
p-n-
. -n-
- (. 1.10).
,
n-,
, -
-n-,
.
,
( ). ,
.
,
()
.
.
.
()
-
.
, , ,
(70100 ).
n+- p- n-
.
2
,
Rs=70 /.
R=250 R=1 .
b=5 (. . 2.1).
2.1:
l=(R/Rs-2k)*b, (2.1)
k , k=0,56
: l=12 l=65 250 1 .
2.1
3
(. 3.1),
,
- .
3.1
:
;
() ;
, ;
.
,
.
,
,
,
, :
, ,
,
. .
3.2 - -
- ,
, .
3.2.
,
60
50 - 100
,
d1 100 x 100
, d2 70
5050
d3:
<50 4
>50 5
d4
< 50 3
>50 4
d5 4
d6 10
d7 10
n+-,
d8 10
, d9 7
,
d10 3
, d11 3
, d12 3
, d13 4
,
9
, 6
, d14 10
, d15 4 6
, d16 4 4
35
n+- , d17 8
, d18 4
, d19 5
2,5 x 2,5
, d20 2
, d21 6
n-
, d22 6
3
, d23 100 100
, d24 6
, d25 7
- 4
, d26 20
n+- 4
40
,
, - (,
),
.
,
,
: , ,
, ,
.
, ,
.
, :
1) p-n- ,
.
,
,
;
2) -n-
,
p-, p-,
.
,
;
3) , ,
,
.
,
;
4)
;
5) --,
,
;
6) --,
, ;
7) , . 5 6
, . .
, , ;
8)
,
,
;
9)
.
-,
,
( n-) .
10)
. ,
;
11)
.
, ,
.
:
1)
(. . 3.1),
;
2) , ,
. ,
;
3)
;
4)
;
5) ;
6) , , ,
, ,
;
7)
;
8) ,
;
9)
.
, ,
,
, , ,
;
10)
.
.
;
11) -
;
12)
;
;
- .
,
,
. ,
,
,
.
:
;
, ;
, ,
;
;
.
,
,
, ,
.
,
,
100:1 200:1 ( , 100).
.
,
, .
,
, ,
. ,
, ,
. ,
,
.
, 0,5 .
, . (
)
.
: - ,
, ,
, , ,
,
() .
,
,
.
.
,
.
,
,
(, . .,
), .
. 1. ( ).
, , ,
.
,
. ,
.
. ,
,
, .
1 0,05 ,
12 0,1 .
,
, .
.
,
. ,
,
. ,
,
, ,
, .
-
,
.
.
:
, ;
, ,
;
; ;
;
,
(0=/SR=103-104 /2),
.
,
,
.
--, - ,
:
1 -
2 -
;
3 -
;
4 -
, ,
;
5 - ;
6 -
;
7 -
.
(. 3.3) (. 3.4 3.10).
3.3
3.4 ( n+
)
3.5 (
)
3.6 (
)
3.7 (
)
3.8 (
)
3.9 (
)
3.10 (
)
4
4.1
.
.
.
, , .
.
.
4.1 - . 2.
3.1
-50, 10.
(111)
10 - 15 ., ( 3 -
5) - 2 -3.
,
( 0,1 - 0,15 )
, ,
40-60 . :
- 546 ; - 184 .
-6 [5],
6-20 /
1000-2500 /
.
: 1600-2200
/, 30-60 /., ,
( 0,8 1,2 )
.
, .
:
7-8; 30 ; 15;
20 .
-2 -3.
-150 30
100 [5].
22-27 /,
25-31 / 20-21 .
( 10 ).
14 20 ( 14-11 20-14)
5 7
: = 1:2 1:3
.
0,001 .
, ;
15 , 5
11 - 12 100 .
1.105.004
32 100 [6].
Na.
-2, -3
0,05 - 0,1 , 3 .
3.2
,
.
,
,
( 1200). ,
3.3, .
-.
:
1)
;
2) - (, 8 /;
35 ), ;
3) 5
;
4) - ;
5) 10 ( );
6) l .
,
.
;
, .
. ,
.
.
;
, .
.
.
.
.
,
,
.
, 1,0-1,5
, ,
.
3.3
, . ,
, ,
.
.
, , ,
. . ,
,
10%. -383
.
. .
,
.
-383 .
1530 ,
3060 100150 .
.
,
. .-2, -4, -250, -120.
,
.
-
.
.
.
,
. :
150200 1 .
.
,
,
. ,
.
3.4
, SiO2.
SiO2 .
,
,
SiO2 .
. : 30
NH4F, 60 2, 9 F (48%) [4].
.
.
.
3.5
,
,
( 4.2).
. - .
.
,
. -,
.
1 - ; 2 - ; 3 - ;
4 - (B2O3); 5 -
4.2
.
- (
550 /) .
,
, (
2550 /).
,
( 0,4 / ).
, , ,
, ,
.
, .
,
1160 0.
.
.
,
; 1 .
.
,
900 0,
.
,
.
,
.
.
3.6
n-
.
.
:
SiCl4+2H2 <=> Si+4HCl
:
;
;
, ;
1200 10
;
,
1150;
,
, ,
0,2...3,0 /
; ;
,
, 2, SiHCl, H2.
;
;
, ,
.
, -2-,
,
.
, .
.
( , -),
, .
,
.
,
, .
1 1.
.
,
.
:
21+2 => 2+61
,
,
.
3.7
0,5 . ,
,
, -383
: H3PO4:HNO3:H2O:CH2COOH=6:1:2:1 [4] 2 .
.
3.8
,
(
) ,
(:Nd), 1,06 .
.
,
100 200 /.
-210 100
460 3 120 /
100 / [5].
-3.
, -3,
:
100 1500 ,
40 / [5].
.
.
p-n .
- .
, ,
:
.
530 610
.
:
1 -
2 -
;
3 -
;
4 -
;
5 - ;
6 - ;
7 - .
.
.
1 .., , .:
, 1970. 296 .: .
2 .., ..,
. 5- ., . . .:
, - 1986.
3 : 2- , ., . . - .: ,
1986. 404 .: .
4 .. . .:
, 1972. 384 .: .
5 . : . .:
, 1991. 528 .: .
6 .., ..
. .: , 1986. 320 .: .
7 . : . :
, 1986. 287 .: .
8 .. :
. 2- ., . . .: , 1991.
344 .: .
9 .. .
: . .: . ., 1984. 231 .,
.
10 ..
: . 2- ., . . .:
, 1987. 464 .: .
11 .. . .: . .,
1985. 207 ., .
